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    椭偏仪

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    项目介绍

    椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且无需真空,因此它成为一种极具吸引力的测量仪器。

    测试能力:

    1. 入射角:55°-90°

    2. 波长范围:190nm-2100nm

    3. 温度范围:室温-600°C

    项目案例

    样品要求

    1. 样品需要镜面

    2. 样品为薄膜

    3. 多层膜需要有陪片

    4. 长宽>20mm,样品的整体厚度>1mm

    常见问题

    Q1、椭偏仪测试的光谱范围如何选择?

    椭偏仪的光谱范围在深紫外142nm到红外33μm可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度以及关注的光谱段等因素。例如,掺杂浓度对材料红外光学属性有很大的影响,因此需要能测量红外波段的椭偏仪;薄膜的厚度测量需要光能穿透薄膜,到达基底,因此需要选取该材料的透明或部分透明光谱段;对于厚的薄膜,选取长波长更有利于测量。

    Q2、椭偏仪测试适用于哪些材料?

    适用于无机材料,样品需要有一定透光性。

    Q3、椭偏仪测试可以得到哪些参数?

    膜厚、波长-折射率曲线、波长-消光系数曲线等。

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