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常规测试
FIB-TEM样品制备技术

FIB-TEM样品制备技术

  • 课程介绍
  • 讲师介绍

课程大纲:

1.样品前处理

根据样品导电性好坏确定是否需要喷金或喷铂处理

2.样品定位

通过E-Beam确定样品的目标位置

3.蒸镀保护层

根据样品成分选择合适的材料在样品的目标区域蒸镀保护层

4.U-Cut

将样品的目标区域四周刨掉,只留下U型目标区域

5.提取样品

U-Cut后的样品通过Easylift提取到载具上

6.样品减薄

根据具体测试需求对样品进行减薄

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