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    电子探针显微分析（EPMA）的基本原理与应用
    来源：本站 时间：2020-08-24 17:48:47 浏览：16306次

    电子探针显微分析（EPMA）的基本原理与应用

    作者：安铭

    1 引言

    电子探针X射线显微分析仪（Electron Probe X-ray Micro-Analyzer，简写为EPMA或者EMA）简称为电子探针。作为一种在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展而来的高效率分析仪器，其通过电子束作用于试样微区上而产生的二次电子、背散射电子及X射线等信号，进行固体物质显微分析，包括微区成分、形貌和结构分析。不同于一般用于分析样品较大范围内的平均化学组成的方法（如化学分析、X光荧光分析以及光谱分析），电子探针的微区成分分析能将微区化学成分和显微组织对应起来，因此是一种显微组织的分析。

    2 电子探针的发展历史

    电子探针显微分析的发展是建立在X射线光谱分析和电子显微镜这两种技术基础上的，该仪器实质上就是这两种仪器的科学组合。

    根据相关记载，第一台静止型电子探针样机于1949年在法国制成，其由电子显微镜和X射线光谱仪组合而成。

    1953年，前苏联制成了X射线微区分析仪，英、美等国继此之后陆续生产。

    第一台扫描电子探针仪商品于1960年由美国制成，不仅能对试样作点或微区分析，而且能对样品表面微区进行扫描。

    1970年以后，电子探针和扫描电镜逐渐组合为一体，同时应用电子计算机控制分析过程和进行数据处理。

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    全部 3小时前 四川
    文字是人类用符号记录表达信息以传之久远的方式和工具。现代文字大多是记录语言的工具。人类往往先有口头的语言后产生书面文字，很多小语种，有语言但没有文字。文字的不同体现了国家和民族的书面表达的方式和思维不同。文字使人类进入有历史记录的文明社会。
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