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电子探针显微分析（EPMA）的基本原理与应用

来源：本站时间：2020-08-24 17:48:47 浏览：11482次

电子探针显微分析（EPMA）的基本原理与应用

作者：安铭

1 引言

电子探针X射线显微分析仪（Electron Probe X-ray Micro-Analyzer，简写为EPMA或者EMA）简称为电子探针。作为一种在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展而来的高效率分析仪器，其通过电子束作用于试样微区上而产生的二次电子、背散射电子及X射线等信号，进行固体物质显微分析，包括微区成分、形貌和结构分析。不同于一般用于分析样品较大范围内的平均化学组成的方法（如化学分析、X光荧光分析以及光谱分析），电子探针的微区成分分析能将微区化学成分和显微组织对应起来，因此是一种显微组织的分析。

2 电子探针的发展历史

电子探针显微分析的发展是建立在X射线光谱分析和电子显微镜这两种技术基础上的，该仪器实质上就是这两种仪器的科学组合。

根据相关记载，第一台静止型电子探针样机于1949年在法国制成，其由电子显微镜和X射线光谱仪组合而成。

1953年，前苏联制成了X射线微区分析仪，英、美等国继此之后陆续生产。

第一台扫描电子探针仪商品于1960年由美国制成，不仅能对试样作点或微区分析，而且能对样品表面微区进行扫描。

1970年以后，电子探针和扫描电镜逐渐组合为一体，同时应用电子计算机控制分析过程和进行数据处理。

免责声明：本文仅作交流学习之用，不作任何商业用途，若有侵权，请联系删除，谢谢理解！

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