X射线光电子能谱测试（XPS）_材料表面分析-测试狗科研服务

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X射线光电子能谱（XPS）

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X射线光电子能谱（XPS）

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马骋

XRD、UPS、XPS、DLS、GIXRD、2D-WAXD、AFM-IR测试工程师

具有多年XPS、DLS等操作经验。精通XPS技术在材料表征上的应用，尤其在催化、电池材料的峰形处理方面具有丰富经验和实操技能。同时，在DLS样品制备和浓度效应分析上有独到的理解和实践经验。

项目介绍

X射线光电子能谱法是一种表面分析方法，提供的是样品表面的元素含量与形态。

如果辅以离子刻蚀手段，再利用XPS作为分析方法，则可以实现对样品的深度分析。

一、XPS的特点

1. 可以分析除 H 和 He 以外的所有元素；

2. 提供有关化学键方面的信息，即直接测量价层电子及内层电子轨道能级；

3. 是一种高灵敏超微量的表面分析技术，分析所需试样量极少，样品分析深度为0.5-10nm 。

二、XPS的应用

1. 元素定性分析

2. 元素半定量分折

3. 固体表面分析

4. 化合物结构鉴定

样品要求

1. 预处理尺寸要求：块体/片状/薄膜：长宽厚不超出1 × 1 × 0.3 cm（磁性样品尽量小）（对块状样品或薄膜样品的测试面做好标记）；粉末样品大于200目，不少于10mg，量少的请用称量纸包好再装到管子里寄。请勿用手触摸样品表面，会引入污染；制好样后请尽快密封，避免其他物质污染；

2. 送样前样品需充分干燥，否则影响仪器真空度；高分子样品在送样前应进行干燥处理；若含有高挥发性分子等，请务必烘烤；

3. 样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知，避免污染高真空系统；

4. 样品在超高真空及在X射线、紫外线、电子束或Ar离子束照射下应稳定，不分解、不释放气体。

项目案例

XPS全谱

XPS 精细谱

XPS深度剖析

XPSmapping成像

常见问题

1、Mg靶与Al靶的区别？什么时候需要用Mg靶测试？

能量不同，分辨率不同，Mg靶分辨率高，Al靶能量高。通常使用Al靶测试即可，若遇到重叠谱峰的情况，如在利用Al 靶测试Fe、Co和Ni同时存在的样品时受俄歇峰影响严重，通常换用Mg靶来移动俄歇峰，以消除干扰。

2、XPS可以测哪些元素？

可以测试除H和He以外的所有元素。

3、XPS表征的是样品的表面还是体相？

表面10nm以内。

4、XPS中，测价带谱的作用是什么？

计算价带位置，及能带中电子态密度随能量的分布。

5、XPS测试分析价态的位置和参考文献不一致怎么办？

1.先确定分析数据前数据是否校准；

2.校准的方式和数据是否和文献一致；

3.每个设备都有分辨率，XPS用铝靶的能量分辨率是在小于等于0.5eV范围，如果参考值在正负0.5eV之间变动，可认为没有什么区别；

4.确定自己的化学价态是否在这个范围内，一个化学价态是对应一个结合能范围。

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