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电子背散射衍射(EBSD)

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功能介绍

背散射电子衍射装置(EBSD):是扫描电子显微镜(SEM)的附件之一,它能提供如晶间取向、晶界类型、再结晶晶粒、微织构、相辨别和晶粒尺寸测量等完整的分析数据。EBSD数据来自样品表面下10-50nm厚的区域,且EBSD样品检测时需要倾转70°,为避免表面高处区域遮挡低处的信号,所以要求EBSD样品表面“新鲜”、清洁、平整、良好的导电性、无应力等要求。


EBSD具体分析功能


1、微观组织分析:晶粒尺寸、均匀性、有没有孪晶及孪晶的体积分数、再结晶晶粒及亚晶、晶界特性分析、相鉴定及相分布等;


分析思路:主要通过分析取向分布图实现,不同颜色晶粒代表不同的取向,晶粒形状大小反映材料变形或再结晶情况,根据相邻晶粒夹角确定晶界类型,并用不同的颜色将晶界表示出来;


2、取向分析:相邻晶粒的取向分析,晶粒和相邻孪晶的取向分析,孪晶及相邻孪晶的取向分析,织构分析、取向差分析;


分析思路:两个相邻晶粒可以用欧拉角分析,极图分析等,大范围晶粒取向用极图或反极图分析。

制样要求

1.样品尺寸大小不超过8X8mm,厚度不超过3mm,测试面需要表面光滑,没有明显划痕;


2.若尺寸较大,请提前线切割好,若需要我们线切割,需要额外收费;


3.送样过程注意保护好测试面,避免划伤;


4.机械抛光适用于粗制样品;电解抛光适合纯金属/第二相细小的合金;氩离子抛光适合金属/金属基复合材料,其抛光区域较小,一般800*800微米左右。

测试案例

EBSD微区取向成像

EBSD微区取向成像

EBSD反极图的面分布图

背散射电子成像

EBSD微区成像

锻态 CoCrNi 的 EBSD 图像

常见问题

Q1、 做EBSD的样品有什么要求?

样品尺寸大小不超过8X8mm,厚度不超过3mm;若尺寸较大,请提前线切割好,若需要我们线切割,额外收取100元/样,另外为避免表面高出区域遮挡低处的信号,要求EBSD样品表面新鲜、清洁、平整、良好的导电性、无应力等要求


Q2、制样有哪些方法?

震动抛光,Ar离子截面抛光以及电解抛光。

Q3、EBSD能标晶体取向吗?

可以,还可以表征晶粒结构,晶粒尺寸和晶界,但是无法把晶粒位置标定再样品上面。


Q4、 制样什么情况选择什么抛光好一点?

一般成分单一的样品选择电解抛;多相的,看样品边缘的,电解配方未知,薄的样品选择震动抛;由硬材料和软材料组成的复合材料样品, 需要选择Ar离子截面抛光,能够精细地制作软硬接合部的截面。

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