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电子探针显微分析(EPMA)

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功能介绍

电子探针显微镜(EPMA)又称微区X射线光谱分析仪、X射线显微分析仪。其原理是利用聚焦的高能电子束轰击固体表面,使被轰击的元素激发出特征X射线,按其波长及强度对固体表面微区进行定性及定量化学分析。主要用来分析固体物质表面的细小颗粒或微小区域,最小范围直径为1μm左右。分析元素从原子序数3(锂)至92(铀),广泛应用于地质、冶金、水泥、材料等领域。

制样要求

1.样品尺寸不超过100*100*50mm;

2.制样使表征面平整光滑,在200倍光镜下没有明显的划痕,且至少有一对平行面;

3.测试费用按具体测试时长收取。

测试案例

常见问题

Q1、EPMA中成分分析属于能谱分析还是波谱分析?

答:EPMA成分分析使用的是波长色散谱仪(WDS),即属于波谱分析。

Q2、SEM和EPMA的主要区别是?

答:SEM侧重于形貌成像,EPMA更倾向于微区成分分析。

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