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    电子探针显微分析(EPMA)

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    项目介绍

    电子探针显微镜(EPMA)又称微区X射线光谱分析仪、X射线显微分析仪。

    1. 显微结构的分析:电子探针是几个微米范围内的微区分析,能将微区化学成份与显微结构对应起来,是一种显微结构的分析;

    2. 元素分析范围广:能分析硼(B)~铀(U)(原子序数:5~92)范围内的元素;

    3.  定量分析准确度高:电子探针的检测极限(能检测到的元素最低浓度)一般为0.01~0.05 wt%,能做轻元素、“痕量元素”以及重叠峰存在时的分析;

    4. 分析速度快,不损坏样品:新型电子探针在0.5 h左右完成样品的分析,且分析完成后可以完好保存样品;

    5.  应用范围广:广泛用于冶金、地质、生物和考古等领域。

    项目案例

    样品要求

    1. 样品尺寸:应为块状或颗粒状,其最大尺寸要根据不同仪器的样品架大小而定,定量分析的样品要均质,厚度通常应大于5 μm;

    2. 具有较好的电导和热导性能:金属材料一般具有较好的导热/导电性能,而硅酸盐材料和其他非金属材料一般导热/导电性都较差,通常在这类材料表面均匀喷镀一层20~400 Å的碳膜或铝膜来增加样品表面的导热/导电性;

    3. 样品表面光滑平整:样品表面必须抛光,保证其清洁平整,若样品表面凸凹不平则可能使射出的X射线受到不规则的吸收。

    常见问题

    Q1、EPMA中成分分析属于能谱分析还是波谱分析?

    EPMA成分分析使用的是波长色散谱仪(WDS),即属于波谱分析。

    Q2、SEM和EPMA的主要区别是?

    SEM侧重于形貌成像,EPMA更倾向于微区成分分析。

    Q3、EPMA分析的优势?

    (1)能进行微区分析。可分析数个μm3内元素的成分;

    (2)能进行现场分析。无需把分析对象从样品中取出,可直接对大块试样中的微小区域进行分析。把电子显微镜和电子探针结合,可把在显微镜下观察到的显微组织和元素成分联系起来;

    (3)分析范围广。Z>4中,波谱:Be-U,能谱:Na-U。

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