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STEM扫描透射电镜的工作原理及测试分析能力

来源：时间：2023-08-25 16:07:11 浏览：1147次

STEM扫描透射电镜的工作原理及测试分析能力

STEM扫描透射电镜是一种可以进行微观分析实验仪器，它结合了TEM透射电镜和SEM扫描电子显微镜的特点。它能够以极高的分辨率观察样品的原子尺度结构和组成，同时还可以进行成像和分析，从而在多个领域提供了广泛的应用。

扫描透射电镜

STEM电镜的工作原理及实验步骤

电子源产生电子束：STEM中使用的电子源产生高能量的电子束。这个电子束是用于照射样品的。

样品的透射：电子束穿过样品，类似于传统的透射电子显微镜。不同的区域会对电子束产生不同程度的散射和吸收，从而形成一个关于样品内部结构的信息。

透射电子检测：与传统的透射电子显微镜不同，STEM使用一个探测器阵列来收集穿过样品的透射电子。这些探测器可以被精确地定位，使得STEM能够同时获取多个点的信息，从而进行扫描成像。

扫描成像：STEM通过控制电子束的位置来扫描样品表面。对于每个位置，透射电子通过样品并被探测器捕捉，形成一个像素点的信号。

成像与分析：STEM收集到的透射电子信号被转化为图像。通过收集大量这样的图像，可以构建出整个样品的图像。这些图像能够提供关于样品的原子尺度结构、元素分布以及晶体学信息。

STEM电镜的测试与分析能力

高分辨率成像：STEM 可以以原子级分辨率成像材料的表面和内部结构，帮助科学家研究纳米尺度的特征和缺陷。

能谱分析：通过收集透射电子的能量谱信息，可以确定样品中不同元素的存在及其相对丰度。这对于分析化学成分非常重要。

电子衍射：STEM 可以进行电子衍射实验，通过分析电子的散射模式来推断晶体的结晶结构。

原子尺度元素分布：通过能谱成像技术，STEM 可以绘制出样品表面元素的分布图，揭示不同元素在材料中的分布情况。

电子衍射斑图：STEM 可以生成电子衍射斑图，提供晶体学信息，帮助确定晶体的定向和结构。

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