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3D光学轮廓仪:非接触式表面粗糙度与形貌测量利器
来源: 时间:2023-11-28 15:23:25 浏览:3946次

3D 光学轮廓仪:非接触式表面粗糙度与形貌测量利器

 

3D光学轮廓仪是一种先进的非接触式表面粗糙度与形貌测量设备,广泛应用于各类精密器件及材料表面的亚纳米级测量。

 

 

 

一、工作原理

3D光学轮廓仪采用白光干涉技术,通过精密的扫描系统和3D建模算法,对被测表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像系统软件对表面3D图像进行数据处理与分析,获取反映表面质量的2D3D参数,从而实现表面形貌的3D测量。

 

二、应用领域

3D光学轮廓仪广泛应用于纳米材料、航空航天、半导体、汽车、精密制造业等领域的表面质量要求高的产品。

其主要应用于以下几个方面:

1. 纳米材料研究:对纳米材料表面的粗糙度、轮廓等参数进行高精度测量,以满足纳米材料研发的需求。

2. 航空航天与半导体:对航空器、卫星、芯片等高精度零部件表面进行粗糙度、平整度、曲率等参数的测量,以确保其性能和可靠性。

3. 精密制造业:对各类精密仪器、设备及工具表面的形貌进行高精度测量,以满足生产过程中对表面质量的严格要求。

4. 生物医学:对生物组织、细胞、器官等表面形貌进行非破坏性测量,为生物学研究提供数据支持。

5. 学术研究:应用于高校、研究机构等单位的表面科学研究,为学术交流和科技创新提供支持。

 

三、主要性能参数

1. 影像系统:3D光学轮廓仪采用1024x1024的高分辨率影像系统,确保测量结果的准确性。

2. 光学ZOOM:光学ZOOM可根据不同测量需求进行调整,提供0.50.751等多种倍率可选。

3. 干涉物镜:3D光学轮廓仪配备102.552050100等多种干涉物镜,可根据测量范围和精度要求进行选择。

4. XY平台:3D光学轮廓仪配备高精度XY平台,实现对被测表面的扫描和定位。

5. 垂直与水准轴向扫描范围:垂直轴向扫描范围可达60mm,水准轴向扫描范围可根据客户需求进行调整。

6. 校正与精度:3D光学轮廓仪采用快速校正程式和可靠算法,确保系统校正结果可追朔至NIST标准,实现高精度测量。

 

四、优势

1. 非接触式测量:3D光学轮廓仪采用白光干涉技术,实现非接触式表面测量,避免了对被测表面的损伤和破坏。

2. 高精度:3D光学轮廓仪具有高精度、高分辨率的光学系统和强大算法支持,实现亚纳米级的表面粗糙度和形貌测量。

3. 快速测量:快速校正程式和可靠算法,缩短了测量时间,提高了工作效率。

4. 广泛应用:3D光学轮廓仪可满足各类精密表面的高精度测量需求,应用领域广泛。

5. 灵活配置:3D光学轮廓仪具备高度弹性的组合配置,可根据不同测量需求选择合适的光学系统和配件。

6. 易于操作:3D光学轮廓仪操作简便,通过电脑控制即可实现对被测表面的非接触式测量。

 

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全部 3小时前 四川
文字是人类用符号记录表达信息以传之久远的方式和工具。现代文字大多是记录语言的工具。人类往往先有口头的语言后产生书面文字,很多小语种,有语言但没有文字。文字的不同体现了国家和民族的书面表达的方式和思维不同。文字使人类进入有历史记录的文明社会。
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