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FIB聚焦离子束技术在检测样品时样品的制备流程解析

来源：时间：2023-12-18 16:58:58 浏览：708次

FIB聚焦离子束技术在检测样品时样品的制备流程解析

聚焦离子束FIB技术是一种基于离子光学原理的微纳米加工技术，其具有高精度、高效率、实时性好等优点。FIB技术在我国科研、工业等领域得到了广泛的应用，尤其在样品制备方面，FIB技术具有独特的优势。本文将详细介绍FIB技术在样品制备中的应用及制样流程。

FIB聚焦离子束

FIB聚焦离子束技术原理

FIB技术是利用聚焦的离子束对样品进行高精度、高效率的加工。其基本原理是将离子源产生的离子束经过聚焦、扫描等处理后，使其在样品表面形成一个高能量密度的离子束斑点，通过调节离子束的参数，实现对样品的切割、抛光等加工过程。

FIB聚焦离子束制样流程

样品固定：将待制备的样品固定在FIB设备的工作台上，确保样品在加工过程中保持稳定。常见的固定方式有机械夹持、真空吸附等。

离子束扫描：开启离子源，使离子束在样品表面进行扫描，调整离子束的扫描速度、束流等参数，观察样品表面的反应，为后续加工过程做好准备。

离子束切割：根据样品的形貌和结构，设定离子束的切割路径。通过调节离子束的参数，实现对样品的切割。在切割过程中，需要注意切割速度、离子束直径等参数的优化，以保证切割质量。

离子束抛光：在切割完成后，利用离子束对样品进行抛光，以去除切割过程中产生的损伤层和杂质。抛光过程中，需要关注离子束的参数调节，以及抛光液的选用。

样品转移：将制备好的样品从FIB设备上取下，转移到其他分析设备（如扫描电子显微镜、透射电子显微镜等）上进行进一步分析。

数据采集与处理：在样品制备过程中，实时采集离子束加工参数、样品形貌等信息，并对数据进行分析处理，以便优化制备过程。

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