预存
Document
当前位置:文库百科文章详情
关于聚焦离子束(FIB)的基本原理、主要用途及应用优势
来源: 时间:2023-11-21 14:04:52 浏览:9881次

关于聚焦离子束(FIB)的基本原理、主要用途及应用优势

 

聚焦离子束FIBFocused Ion Beam)是一种先进的纳米级加工和分析技术,它结合了离子束技术和扫描电子显微镜(SEM技术,具有广泛的应用优势。

 

 

 

一、基本原理

聚焦离子束显微镜系统由液态金属离子源产生离子束,经过离子枪加速、聚焦后照射到样品表面;在这个过程中,离子束与样品相互作用,产生二次电子信号,从而获得电子图像,聚焦离子束技术与扫描电子显微镜相似,但具有更高的分辨率、更小的束斑尺寸和更快的成像速度。

 

二、主要用途

1. 纳米级加工:可用于对材料进行纳米级的切割、雕刻和修饰,实现微米/纳米结构的制备和优化。

2. 半导体集成电路修改:可实现对集成电路的修改、切割和故障分析等。

3. 材料分析:可用于材料表面形貌、成分和结构分析,助力新材料的研发和应用。

4. 生物医学应用:可对细胞、组织切片等进行纳米级成像和分析,为生物学和医学研究提供有力支持。

5. 环境与能源:可实现对污染物的纳米级分析,为环境保护和能源开发提供科学依据。

 

三、应用优势

1. 纳米级精度:聚焦离子束技术具有高分辨率和高精度,可实现对纳米级结构的精准操控和成像。

2. 实时观察:在加工和分析过程中,聚焦离子束技术可以实时观察样品表面的变化,便于操作人员调整加工参数,确保纳米级精度。

3. 多种应用领域:聚焦离子束技术具有广泛的应用领域,涵盖物理、化学、生物、新材料、农业、环境、能源等多个方面。

4. 高度集成:聚焦离子束显微镜系统可以与气体沉积装置、纳米操纵仪、各类探测器和可控样品台等设备相结合,实现高度集成化的纳米级成像、处理和分析。

5. 操作简便:聚焦离子束技术操作简便,易于掌握,有利于推广和应用。

6. 样品制备和分析速度快:聚焦离子束技术在样品制备和分析过程中具有较快的速度,提高工作效率。

评论 / 文明上网理性发言
12条评论
全部评论 / 我的评论
最热 /  最新
全部 3小时前 四川
文字是人类用符号记录表达信息以传之久远的方式和工具。现代文字大多是记录语言的工具。人类往往先有口头的语言后产生书面文字,很多小语种,有语言但没有文字。文字的不同体现了国家和民族的书面表达的方式和思维不同。文字使人类进入有历史记录的文明社会。
点赞12
回复
全部
查看更多评论
相关文章

一文详解扫描电子显微镜(SEM)的工作原理及应用技术

2023-10-08

热重分析(TG-DTG)曲线的几种解析方法

2023-12-26

接触角测试(CA)的原理、样品制备要求及实际应用

2023-11-16

一文详细介绍he染色的基本原理、实验步骤及注意事项

2023-11-23

恒电流间歇滴定法GITT的基本原理以及测试教程

2022-08-12

TMA技术的基本概念、应用领域以及实际操作中的要点

2023-12-06

项目推荐/Project
聚焦离子束(FIB)

聚焦离子束(FIB)

热门文章/popular

基础理论丨一文了解XPS(概念、定性定量分析、分析方法、谱线结构)

晶体结构可视化软件 VESTA使用教程(下篇)

手把手教你用ChemDraw 画化学结构式:基础篇

【科研干货】电化学表征:循环伏安法详解(上)

电化学实验基础之电化学工作站篇 (二)三电极和两电极体系的搭建 和测试

【科研干货】电化学表征:循环伏安法详解(下)

微信扫码分享文章