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    关于聚焦离子束(FIB)的基本原理、主要用途及应用优势
    来源: 时间:2023-11-21 14:04:52 浏览:8832次

    关于聚焦离子束(FIB)的基本原理、主要用途及应用优势

     

    聚焦离子束FIBFocused Ion Beam)是一种先进的纳米级加工和分析技术,它结合了离子束技术和扫描电子显微镜(SEM技术,具有广泛的应用优势。

     

     

     

    一、基本原理

    聚焦离子束显微镜系统由液态金属离子源产生离子束,经过离子枪加速、聚焦后照射到样品表面;在这个过程中,离子束与样品相互作用,产生二次电子信号,从而获得电子图像,聚焦离子束技术与扫描电子显微镜相似,但具有更高的分辨率、更小的束斑尺寸和更快的成像速度。

     

    二、主要用途

    1. 纳米级加工:可用于对材料进行纳米级的切割、雕刻和修饰,实现微米/纳米结构的制备和优化。

    2. 半导体集成电路修改:可实现对集成电路的修改、切割和故障分析等。

    3. 材料分析:可用于材料表面形貌、成分和结构分析,助力新材料的研发和应用。

    4. 生物医学应用:可对细胞、组织切片等进行纳米级成像和分析,为生物学和医学研究提供有力支持。

    5. 环境与能源:可实现对污染物的纳米级分析,为环境保护和能源开发提供科学依据。

     

    三、应用优势

    1. 纳米级精度:聚焦离子束技术具有高分辨率和高精度,可实现对纳米级结构的精准操控和成像。

    2. 实时观察:在加工和分析过程中,聚焦离子束技术可以实时观察样品表面的变化,便于操作人员调整加工参数,确保纳米级精度。

    3. 多种应用领域:聚焦离子束技术具有广泛的应用领域,涵盖物理、化学、生物、新材料、农业、环境、能源等多个方面。

    4. 高度集成:聚焦离子束显微镜系统可以与气体沉积装置、纳米操纵仪、各类探测器和可控样品台等设备相结合,实现高度集成化的纳米级成像、处理和分析。

    5. 操作简便:聚焦离子束技术操作简便,易于掌握,有利于推广和应用。

    6. 样品制备和分析速度快:聚焦离子束技术在样品制备和分析过程中具有较快的速度,提高工作效率。

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    12条评论
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    全部 3小时前 四川
    文字是人类用符号记录表达信息以传之久远的方式和工具。现代文字大多是记录语言的工具。人类往往先有口头的语言后产生书面文字,很多小语种,有语言但没有文字。文字的不同体现了国家和民族的书面表达的方式和思维不同。文字使人类进入有历史记录的文明社会。
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