SEM扫描电镜测试的原理、结构及主要性能-测试狗·科研服务

Document

当前位置：文库百科 › 文章详情

SEM扫描电镜测试的原理、结构及主要性能

来源：时间：2024-11-11 10:12:20 浏览：6878次

SEM扫描电镜测试的原理、结构及主要性能

扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种重要的分析仪器，广泛应用于材料科学、生物学、医学、冶金学等领域；SEM以其高分辨率、放大范围广、观察样品种类多等特点，在微观形貌观察、成分分析和晶体学研究中发挥着重要作用。

一、工作原理

SEM扫描电镜的基本原理是利用聚焦电子束对样品表面进行扫描，通过收集样品在电子束作用下产生的二次电子、背散射电子等信号，形成样品表面的形貌像。

具体来说，SEM的工作原理可以分为以下几个步骤：

1. 电子枪发射电子：电子枪是SEM的核心部件，它发射出高速电子束。

2. 电子束聚焦：通过电磁透镜系统，将电子枪发射的电子束聚焦成直径很小的电子探针。

3. 电子束扫描：在扫描线圈的作用下，电子探针在样品表面进行逐点扫描。

4. 信号收集：样品在电子束的作用下，会产生二次电子、背散射电子等信号；这些信号被探测器收集并转换为电信号。

5. 图像显示：电信号经过放大、处理后，在显示器上形成样品表面的形貌像。

二、结构

SEM扫描电镜主要由以下几个部分组成：

1. 电子枪：发射高速电子束，常用的电子枪有热电子枪和场发射枪。

2. 电磁透镜：对电子束进行聚焦，包括物镜和扫描透镜。

3. 扫描线圈：控制电子束在样品表面的扫描轨迹。

4. 样品室：放置样品，并保持真空状态，以防止电子与空气分子发生碰撞。

5. 探测器：收集样品产生的二次电子、背散射电子等信号。

6. 信号处理与显示系统：将探测器收集到的信号进行处理，最终在显示器上形成图像。

三、主要性能

1. 高分辨率：SEM的分辨率可达纳米级别，甚至亚纳米级别；这使其能够观察到样品表面的细微结构。

2. 大放大倍数：SEM的放大倍数范围广泛，从几十倍到几十万倍不等，满足不同观察需求。

3. 多信号探测：SEM可以收集二次电子、背散射电子、特征X射线等多种信号，为样品分析提供丰富的信息。

4. 大景深：SEM具有较大的景深，使得样品的三维形貌更加清晰。

5. 快速成像：SEM扫描速度快，可以在短时间内获得高质量的图像。

6. 样品适用范围广：SEM适用于各种固体样品，包括金属、非金属、生物样品等。

四、应用

1. 材料科学：观察金属、陶瓷、高分子等材料的微观结构，分析成分和晶体学特征。

2. 生物学：观察细胞、微生物、组织等生物样品的形貌，进行细胞生物学、病理学研究。

3. 地质学：分析矿物、岩石的微观结构，进行地球化学研究。

上一篇：流式细胞分析分选操作和使用中的注意事项

下一篇：工业CT检测在复合材料分析中的应用价值

2023-10-08

热重分析（TG-DTG）曲线的几种解析方法

2023-12-26

接触角测试（CA）的原理、样品制备要求及实际应用

2023-11-16

一文详细介绍he染色的基本原理、实验步骤及注意事项

2023-11-23

BET气体吸附原理及其技术发展

2025-02-21

恒电流间歇滴定法GITT的基本原理以及测试教程

2022-08-12

项目推荐/Project

场发射扫描电镜（SEM）

SEM云现场/现场

举报有奖

TEL: 191-3608-6524

如：在网络上恶意使用“测试狗”等相关关键词误导用户点击、恶意盗用测试狗商标、冒称官方工作人员等情形，请您向我们举报，经查实后，我们将给予您奖励。

举报内容：

200

上传附件：

文件格式不正确，请重新上传文件格式不正确，请重新上传文件格式不正确，请重新上传

文件格式：jpg、jpeg、png、gif、tif、doc、docx、ppt、pptx、xls、xlsx、pdf、zip、rar

联系方式

姓名

电话

提交意见

意见反馈

Suggestions

您可以在此留下您宝贵的意见，您的意见或问题反馈将会成为我们不断改进的动力。

意见类型

测试服务

网站功能

财务报账

其他类型

意见内容

200

联系方式

姓名

电话

提交意见

+

你好，很高兴为您服务！

发送