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测试狗透射电镜校准和测试能力获国家计量比对认可

来源：时间：2025-11-17 14:23:33 浏览：554次

测试狗透射电镜校准和测试能力获国家计量比对认可

为更好地发挥计量比对在保证量值准确可靠、支撑计量事中事后监管和提升计量技术机构能力等方面的重要作用，市场监管总局组织实施了防护水平X射线空气比释动能量值比对等26项国家计量比对。

项目编号：2021-B-16

主导实验室：中国计量科学研究院

比对项目：透射电镜测量二氧化铪（HfO2）和氮化硅（Si3N4）薄膜厚度。

主导实验室依据 T/CSTM00162—2020《透射电子显微镜校准方法》和 GB/Z 21738—2008《一维纳米材料的基本结构高分辨透射电子显微镜检测方法》标准，制定了比对方案，准备了 HfO2 和 Si3N4 薄膜比对样品及GBW13955 金晶面间距标准物质。参比实验室依据 T/CSTM 00162—2020《透射电子显微镜校准方法》标准对透射电镜进行校准，使用校准后的透射电镜，依据GB/Z21738—2008《一维纳米材料的基本结构高分辨透射电子显微镜检测方法》标准，对两个样品的薄膜厚度进行了测量。主导实验室对测量结果进行比较和评价，并根据En值判断是否合格。项目简介：透射电镜作为材料领域最重要的测量分析仪器之一，具有测量结果可视、分辨率高、准确性好、功能多样化等优点，尺寸测量覆盖了埃米到微米范围，广泛应用于金属合金、集成电路、纳米科技、生物医药等领域材料样本的表征和分析。透射电镜测量量值的准确性影响样品/产品性能的可靠性和安全性。因此，开展透射电镜中、高放大倍率下膜厚量值的计量比对具有重要意义。本比对采用标准物质/标准样品校准透射电镜，然后使用校准后的透射电镜测量 HfO2薄膜样品和Si3N4薄膜样品的薄膜厚度。此次透射电镜计量比对与主导实验室主导的APMP/TCMM —35—透射电镜 Si{220}晶面间距测量比对同步进行，比对方案基本相同。