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功能介绍

用于半导体材料或块体材料(薄层电阻)的专用仪器;可用于测试硅晶片及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、金属薄膜等材料的电阻和方块电阻。

1、固体导体的电阻率可以通过欧姆定律和电阻定律测量;

2、测试得到的电阻可以通过换算得到电导率;

3、电导和电阻的关系,如果R是电阻(单位欧姆Ω),电导为G(单位西门子S),则:G = 1/R;

4、电阻=方阻x膜厚;

制样要求

1.粉末样品需压片测试,质量大于50mg 或者体积大于2-3ml;

2.薄膜,提供准确膜厚,厚度均匀;

3.块体上下平行,最好抛光处理;

4.常温样品尺寸直径或者长度最少10mm;

5.变温样品尺寸小于10x10mm厚度大于0.3mm小于2mm

6.表面整洁,不污染探针;

注:粉末压片会影响测试结果,不支持免费复测,支持压片后送样。

测试案例

常见问题

Q1、测试的是方块电阻还是表面电阻?

方块电阻。

Q2、能得到电导率吗?

可以,G=1/R。

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