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四探针测试仪测量半导体材料电阻率
来源:晶格四探针 时间:2022-10-26 17:48:34 浏览:2831次

1. 基本介绍

电阻率的测量是半导体材料常规参数测量项目之一。测量电阻率的方法很多,如三探针法、电容---电压法、扩展电阻法等。四探针法则是一种广泛采用的标准方法,在半导体工艺中最为常用。其主要优点在于设备简单,操作方便,精确度高,对样品的几何尺寸无严格要求。四探针法除了用来测量半导体材料的电阻率以外,在半导体器件生产中广泛使用四探针法来测量扩散层薄层电阻,以判断扩散层质量是否符合设计要求。


2. 四探针发展历史

1865 年 首次提出四探针测试原理 汤姆森 ;

1920 年 第一次实际应用,测量地球电阻率 Schlunberger ;

1954 年 第一次用于半导体电阻率测试 Valdes;

1980 年代 具有Mapping 技术的四点探针出现;

1999 年 开发出首台微观四点探针 Pertersen。


3. 四探针测试原理图

四根等距探针竖直的排成一排,同时施加适当的压力使其与被测样品表面形成欧姆连接,用恒流源给两个外探针通以小电流 I,精准电压表测量内侧两探针间电压 V,根据相应理论公式计算出样品的薄膜电阻率。


4.四探针测试方法分类

最为常用的测试方法为直线(常规)四探针法和双电测四探针法。

ST2258C多功能数字式四探针测试仪(常规四探针法选用)


ST2263双电测数字式四探针测试仪(双电测法选用)

来源:晶格四探针

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全部 3小时前 四川
文字是人类用符号记录表达信息以传之久远的方式和工具。现代文字大多是记录语言的工具。人类往往先有口头的语言后产生书面文字,很多小语种,有语言但没有文字。文字的不同体现了国家和民族的书面表达的方式和思维不同。文字使人类进入有历史记录的文明社会。
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