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    激光直写光刻机

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    激光直写光刻机

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    项目介绍

    工作原理：根据计算机图形数据文件，对光刻胶等近紫外感光材料进行直写曝光或在其他光刻基板上进行图形化直写。

    样品要求

    1.LD 固体激光器 405nm±10nm波长

    2. 样品尺寸：8英寸及以下,支持规则或不规则形状的基底; 包括 Si、SiN、GaAs、InP、SiC 等透明、半透明、不透明基底

    3. 分辨率＞600nm  ，采用空间光调制器频闪扫描曝光/ 连续光曝光

    4.可支持厚光刻胶曝光、支持二次重复对准曝光。

    5.支持文件格式：GDSII、BMP

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    激光直写光刻机

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    1. 复测保证

    如果在订单完成之后7天内对结果存疑,可申请同条件免费复测，更换条件或者参数不能参与免费复测保障服务，全程由专业团队操作，确保结果有效性；

    2. 具体细则

    每单限1次复测机会，单次需小于5个样品; 此外免费复测样品必须为同一样，私人定制、云视频测试不可享受此服务；

    3. 注意事项

    如果由于您自身样品的情况(样品有问题/选错测试条件等)将不可享受此服务；

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    超时全额退
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    超时全额退服务说明
    1. 超时全额退

    正常预约同步辐射XAFS测试固定机时且样品正常邮寄至对应测试线站，如无不可抗力影响（停电/掉光/自然灾害/政策影响等），测试超时5个工作日未发数据，全额退款。

    2. 具体细则

    以预约的固定测试机时时间后第一个工作日为起始日期，需满足完成下单、预约机时、按照预定时间送样条件，不满足前述条件的样品不参与此活动（具体时间预约请联系工作人员确认）。

    3. 注意事项

    如果由于您自身样品的情况，如风险测试样、样品不满足测试要求，将不可享受此权益（样品风险及测试等问题可在下单前联系工作人员确认）；非固定测试机时的订单不参与超时全额退，其他测试权益正常（详情可联系工作人员）。

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