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项目介绍

电子探针显微镜（EPMA）又称微区X射线光谱分析仪、X射线显微分析仪。

1. 显微结构的分析：电子探针是几个微米范围内的微区分析，能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析；

2. 元素分析范围广：能分析硼（B）～铀（U）（原子序数：5~92）范围内的元素；

3. 定量分析准确度高：电子探针的检测极限（能检测到的元素最低浓度）一般为0.01～0.05 wt%，能做轻元素、“痕量元素”以及重叠峰存在时的分析；

4. 分析速度快，不损坏样品：新型电子探针在0.5 h左右完成样品的分析，且分析完成后可以完好保存样品；

5. 应用范围广：广泛用于冶金、地质、生物和考古等领域。

样品要求

1. 样品尺寸：应为块状或颗粒状，其最大尺寸要根据不同仪器的样品架大小而定，定量分析的样品要均质，厚度通常应大于5 μm；

2. 具有较好的电导和热导性能：金属材料一般具有较好的导热/导电性能，而硅酸盐材料和其他非金属材料一般导热/导电性都较差，通常在这类材料表面均匀喷镀一层20~400 Å的碳膜或铝膜来增加样品表面的导热/导电性；

3. 样品表面光滑平整：样品表面必须抛光，保证其清洁平整，若样品表面凸凹不平则可能使射出的X射线受到不规则的吸收。

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常见问题

1、EPMA中成分分析属于能谱分析还是波谱分析？

EPMA成分分析使用的是波长色散谱仪（WDS），即属于波谱分析。

2、SEM和EPMA的主要区别是？

SEM侧重于形貌成像，EPMA更倾向于微区成分分析。

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21

电子探针显微分析（EPMA）的基本原理与应用

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