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俄歇电子能谱（AES）

俄歇电子能谱（AES）

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项目介绍

俄歇电子能谱（Auger Electron Spectroscopy, AES）是用具有一定能量的电子束（或X射线）激发样品俄歇效应，通过检测俄歇电子的能量和强度，从而获得有关材料表面化学成分和结构信息的方法。

AES主要可以用于：固体表面元素定性分析、表面表面微区分析（线扫描、面扫描）、原子的化学结合状态分析、元素沿深度方向的分布分析、表面元素半定量分析等。

项目案例

样品要求

1. AES元素分析范围为Li~U，只能测试无机物质，不能测试有机物物质，检出限为~1-0.1 atomic %；

2. 块体/薄膜样品尺寸不超过5 x 5 x 2mm；

3. 由于AES测试深度太浅，无法对样品喷金后再测试，因此只能测试导电性较好的样品，绝缘样品无法测试；

4. 样品制备好以后，尽可能真空密封送样，避免样品吸附空气中的污染物，对表面测试造成影响；

5. 样品在超高真空下必须稳定，无腐蚀性，无磁性，无挥发性等。

常见问题

Q1、AES的优点是什么？

高空间分辨率。

Q2、俄歇电子能谱的逸出深度为多少？

样品表面0.4-2nm。

Q3、俄歇电子能谱可以获得哪些信息？

表层成分和表面化学态。

Q4、XPS中的俄歇谱与单独的AES有什么区别？

XPS使用X射线激发，采集的俄歇谱峰能量分辨率高一些，有的谱峰能用于化学态识别；AES用电子束激发，会破坏有些材料的化学键，主要适合元素分析。AES的优点是高空间分辨率，如果不是分析微米纳米级微区，就不需要使用AES。

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