薄膜应力测试仪（激光曲率法）-测试狗科研服务

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薄膜应力测试仪

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项目介绍

薄膜应力测试仪（Film Stress Tester, FST）
型号：FST-5000
仪器原理：激光曲率法，基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进的激光扫描方式和探测技术，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜应力仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、轮廓形貌、曲率半径和薄膜应力测量。
功能：主要用于非破坏性检测晶圆基底、薄膜等材料的轮廓形貌、弓高、翘曲度、曲率半径和薄膜应力。可量化应力大小及分布，帮助优化工艺，避免因应力过大导致的晶圆翘曲、薄膜脱落等问题。适用材料包括二氧化硅（SiO₂）、氮化硅（Si₃N₄）、GaN、SiC、金属及低介电常数（Low-k）材料等。
应用范围：适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、轮廓形貌、曲率半径和薄膜应力测量。

样品要求

1、样品尺寸最大12英寸，向下兼容10、8、6、 4、 3、 2、 1英寸

2、薄膜厚度目前没有明显要求（一般说的薄膜或者晶圆，厚度都是微米级~几个mm以内）

3、.薄膜应力测试范围：5～10000 MPa

4、曲率半径测试范围：2～20000 m

5、最小步长：0.1 mm

6、需要提供薄膜的厚度值，作为评估和测试的参考

7、测试一般分为两个步骤，先测一次没有镀膜的空白基底材料的曲率情况，镀膜完成后再测一次镀膜后引起的曲率变化，两者相减，计算得到薄膜应力。因此最好是镀膜前后分别送样测试，可以得到准确的应力结果，如果一次性提供一片空白基底以及镀膜以后的一片样品一起测试，也可得到相关数值，但是结果准确度会有降低

8、数据输出：含图文，数据的pdf文件，或者excel数据表

项目案例