薄膜应力测试仪（激光曲率法）-测试狗科研服务

预存

{{couponData.name}} ￥{{Math.floor(couponData.money)}} {{couponData.discount}}折￥{{couponData.random_min_money | int}}~{{couponData.random_max_money|int}}

{{timeH}}:{{timeM}}:{{timeS}}

{{couponData.name}} ￥{{Math.floor(couponData.money)}} {{couponData.discount}}折￥{{couponData.random_min_money | int}}~{{couponData.random_max_money|int}} （{{couponData.min_amount==1?'无门槛':'满'+Math.floor(couponData.min_amount)+'可用'}}）

距失效

{{timeH}}

时

{{timeM}}

分

{{timeS}}

秒

Document

当前位置：材料测试 › 力学性能 ›

薄膜应力测试仪

99%

满意度

薄膜应力测试仪

预存专享优惠

已预约：

202次

服务周期：

平均5个工作日完成

立即下单

咨询价格

收藏

如有各类设备采购需求，请联系专属顾问。

项目介绍

激光曲率法，基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进的激光扫描方式和探测技术，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜应力仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、轮廓形貌、曲率半径和薄膜应力测量。

样品要求

1、样品尺寸最大12英寸，向下兼容10、8、6、 4、 3、 2、 1英寸

2、薄膜厚度目前没有明显要求（一般说的薄膜或者晶圆，厚度都是微米级~几个mm以内）

3、需要提供薄膜的厚度值，作为评估和测试的参考

4、测试一般分为两个步骤，先测一次没有镀膜的空白基底材料的曲率情况，镀膜完成后再测一次镀膜后引起的曲率变化，两者相减，计算得到薄膜应力。因此最好是镀膜前后分别送样测试，可以得到准确的应力结果，如果一次性提供一片空白基底以及镀膜以后的一片样品一起测试，也可得到相关数值，但是结果准确度会有降低

项目案例

6英寸硅晶圆衬底弓高翘曲曲线

6英寸硅晶圆衬底表面3D形貌

TiN金属薄膜表面3D形貌

3D轮廓

曲率/应力分布

弓高/翘曲度

学术文章

10

薄膜应力测试仪（激光曲率法）测试原理及样品要求

薄膜应力测试仪（激光曲率法）测试原理及样品要求在半导体、微电子、光伏及新材料等领域，沉积在基片...

项目推荐

文章推荐

薄膜应力测试仪

立即下单

举报有奖

TEL: 191-3608-6524

如：在网络上恶意使用“测试狗”等相关关键词误导用户点击、恶意盗用测试狗商标、冒称官方工作人员等情形，请您向我们举报，经查实后，我们将给予您奖励。

举报内容：

200

上传附件：

文件格式不正确，请重新上传文件格式不正确，请重新上传文件格式不正确，请重新上传

文件格式：jpg、jpeg、png、gif、tif、doc、docx、ppt、pptx、xls、xlsx、pdf、zip、rar

联系方式

姓名

电话

提交意见

意见反馈

Suggestions

您可以在此留下您宝贵的意见，您的意见或问题反馈将会成为我们不断改进的动力。

意见类型

测试服务

网站功能

财务报账

其他类型

意见内容

200

联系方式

姓名

电话

提交意见

+

你好，很高兴为您服务！

发送