薄膜应力测试仪（激光曲率法）-测试狗科研服务

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项目介绍

激光曲率法，基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进的激光扫描方式和探测技术，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜应力仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、轮廓形貌、曲率半径和薄膜应力测量。

样品要求

1、样品尺寸最大8英寸，向下兼容6、 4、 3、 2、 1英寸，最小尺寸> 15*15 mm 样品

2、薄膜厚度目前没有明显要求（一般说的薄膜或者晶圆，厚度都是微米级~几个mm以内）

3、需要提供薄膜的大概厚度值，作为评估和测试的参考

项目案例

6英寸硅晶圆衬底弓高翘曲曲线

6英寸硅晶圆衬底表面3D形貌

TiN金属薄膜表面3D形貌

3D轮廓

曲率/应力分布

弓高/翘曲度

学术文章

10

薄膜应力测试仪（激光曲率法）测试原理及样品要求

薄膜应力测试仪（激光曲率法）测试原理及样品要求在半导体、微电子、光伏及新材料等领域，沉积在基片...

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