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动态二次离子质谱仪(D-SIMS)

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功能介绍

可提供元素深度分布、元素平均浓度、二维成像、线扫描等测试。

制样要求

1.样品要求表面平整,长宽大于7X5mm,厚度小于5mm;

2.样品密封避免粉尘污染;

3.请注明样品导电性、尺寸、patterned or blanket;

4.请注明样品各层结构、主体材质;注入样品请提供注入剂量和能量;掺杂样品请提供大致浓度范围等;

5.请注明待检测元素、目标数据、各元素检测限要求、检测区域位置和大小。

测试案例

元素深度分布和平均浓度

元素深度分布和平均浓度

D-SIMS原位测试

网格硅的SIMS图谱和Mapping成像

常见问题

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2019-10-25

2561

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一文读懂D-SIMS

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2019-10-25

4154

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