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动态二次离子质谱仪（D-SIMS）

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一文读懂D-SIMS

动态-二次离子质谱（D-SIMS）用气体等离子源轰击样品,使样品表面原子、分子或离子等溅射出来，用质量分析器接收溅射出的二次离子，通过分析其质荷比（m/z)获得二次离子质谱。由于D-SIMS的离子源为高密度离子束（原子剂量10 12 ions/cm 2 ）,对样品的溅射作用大，故是一种破坏性分析。...

2019-10-25

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