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一文认识TOF-SIMS

来源：本站时间：2019-10-25 15:25:55 浏览：7910次

一、TOF-SIMS的原理及特点

飞行时间-二次离子质谱仪（TOF-SIMS），是一种非常灵敏的表面分析技术。它利用一次离子激发样品表面微量的二次离子，根据二次离子飞行到探测器的时间不同来测定离子质量。由于TOF-SIMS中离子飞行时间只依赖于它们的质量，故其一次脉冲就可得到一个全谱，离子利用率很高，能实现对样品几乎无损的静态分析。

二次离子质谱的工作原理

TOF-SIMS具有检测极限极低、分辨率极高等优点，能实现在2-3个原子层对样品进行检测并给出二维和三维图像信息。目前TOF-SIMS主要用于有机样品的表面分析，如生物药品的有机物分析、半导体材料的污染分析、储能材料分析及有机分子碎片鉴定等。随着技术的改善，分析区域越来越小，TOF-SIMS在材料成分、掺杂和杂质污染等方面的分析中逐渐拥有不可替代的地位。

二、TOF-SIMS可为您解决的问题

1 有机物的表面表征，可对元素进行面分布分析，分辨率为5～10nm。

2 鉴别在金属、玻璃、陶瓷、薄膜或粉末表面上的有机物层或无机物层，能对有机物进行分析且直接输出其分子式。

3 极小小面积分析，最小区域可达直径80nm。

4 良好的深度分辨率（0.1-1nm），但溅射速率很慢（＜1μm/H）。

5 可给出样品的三维图像信息。

6 同位素丰度分析......

三、TOF-SIMS的应用举例

（1）血清蛋白和溶菌酶薄膜分别吸附在硅烷上的典型正离子质谱

（2）连用TOF-SIMS和SPRi分析多糖改性的有序表面的性质

（3）通过TOF-SIMS像确定试样的主要成分

（4）两种甘油二酯的TOF-SIMS质谱像

（5）涂料在正负离子模式下的TOF-SIMS质谱

（6）油漆画截面TOF-SIMS的全部离子流图像及典型元素的正离子像

(图片来源：Falk Bernsmann，ToF-SIMS Investigations>）

——完——

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