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项目介绍

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且无需真空，因此它成为一种极具吸引力的测量仪器。

测试能力：

1. 入射角：55°-90°；

2. 波长范围：190nm-2100nm；

3. 温度范围：室温-600°C。

项目案例

样品要求

1. 样品需要镜面；

2. 样品为薄膜；

3. 多层膜需要有陪片；

4. 长宽>20mm，样品的整体厚度＞1mm。

常见问题

Q1、椭偏仪测试的光谱范围如何选择？

椭偏仪的光谱范围在深紫外142nm到红外33μm可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度以及关注的光谱段等因素。例如，掺杂浓度对材料红外光学属性有很大的影响，因此需要能测量红外波段的椭偏仪；薄膜的厚度测量需要光能穿透薄膜，到达基底，因此需要选取该材料的透明或部分透明光谱段；对于厚的薄膜，选取长波长更有利于测量。

Q2、椭偏仪测试适用于哪些材料？

适用于无机材料，样品需要有一定透光性。

Q3、椭偏仪测试可以得到哪些参数？

膜厚、波长-折射率曲线、波长-消光系数曲线等。

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