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电子探针显微镜与扫描电镜区别的三大要点

来源：测试GO 时间：2022-08-15 14:19:25 浏览：2608次

虽然两种仪器的基本原理相同在进行实验时，但是大多数人仍然分不清楚且不知道怎么选择。以下三点教你如何区别电子探针显微镜与扫描电子显微镜：

电子探针显微仪展示图

1、作用

电子探针显微镜对电子光学装置工作状态下的可靠性要求远高于扫描电子显微镜很多很多,为控制系统添加了一个负反馈机制,使得研究条件可以与标样分析结果有极小的偏差。同等功能的EPMA比SEM系统造价高出许多。

2、工作原理

从工作原理上来看，扫描探针显微镜，因为它的工作原理是控制探针来进行扫描成像的，所以扫描的速度会受到一定的限制，检测的效率也会偏低于其他的显微技术。这样扫描的效率就会收到一定的影响,而分析的质量也就会偏低于其他的显微方法。由于压电效应,在保证能够准确的情况下的移动幅度比较小(目前是很难突破100μm量级),而机械的调整精度也无方法与之相衔接,所以做不了如在电子显微镜那么宽范围的连续变焦下,对于确定和寻找样品的基本结构就相当麻烦。

3、用途上

扫描电子显微镜，主要用于固体物质表面电子显微高分辨成像，接配电子显微分析附件，并进行了相关的生物特征信号识别。最常见的化学分析器件,是针对通过电子束和样品作用区域辐射出的元素特性X-射线,通过使用EDS和WDS进行化学检测分析,可以获取作用区域元素组成数据,由于扫描电子显微镜是一种电子显微分析系统,分析的附件也可以按照客户要求进行选择,所以离子色谱仪的类型也存在着多样化。电子探针显微镜主要是为了准确获取微米的晶粒以及颗粒中的元素数据,通过电子束样品作用区域发出的特性X辐射,使用探测的主要工具为WDS,通常配备4道WDS,中心对称地安装于电子束附近,通过此重要组件,电子探针显微镜主要追求微区化学分析的准确度，根据此标配,由于电子探针显微镜主要追求微区化学分析结果准确,所以对电子光学的分辨率要求比较宽松,而电子显微分析则对汇聚的束束额定电流需求很大,所以束斑比较粗。早期电子探针显微镜成像方法主要是使用同轴电子光学显微镜,然后通过移动样品台或移动设备汇聚电子束,以寻找敏感点,虽然当前仍然有同轴光镜,主要用于校准WD。但实际上需要使用电子探针的地方比较少,而离子色谱仪比较广泛。