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3D光学轮廓仪测试的样品要求以及常见问题

来源：测试GO 时间：2022-11-07 13:34:10 浏览：890次

3D表面轮廓仪以白光干涉技术为原理，可以用来表征表面形貌，微观结构测量。广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。

光学3D表面轮廓仪主要可以测量样品表面的粗糙度和三维形貌、材料表面的起伏，平整度、凹坑的深度和面积；影像三坐标可以测试样品的空间位置、平行度、垂直度以及对角线距离等。

白光三维光学显微镜/3D光学轮廓仪

先进的光学3D表面轮廓仪是确定MEMS设备表面特征的一种非常有用的工具。传统意义上，光学轮廓仪被用来测量样品的表面特性。但是，在测量过程中，所测量的样品需保持在静止的状态下，如果样品不稳定或者处于运动状态则会引起图像混乱模糊、数据不完整或者数据丢失等现象。然而，对于MEMS设备，需要确定该设备处于运动状态时的形貌特征，了解和确定其在运动状态下的功能和特征对研发和生产质量控制至关重要，作为质量检验，只有动态测量才可以真正模拟MEMS实际运行状态，从而达到真正的功能检测，所以需要先进峰光学3D表面轮廓仪。

3D光学轮廓仪测试样品要求

1. 样品需平整；

2.样品尺寸不超过50*50mm就可以

【注：3D光学轮廓仪最大扫描区域是600*400um，每次拼接会有30%区域重叠。】

3D光学轮廓仪测试常见问题

Q1、白光三维光学显微镜/3D光学轮廓仪/接触式轮廓仪，是一样的吗？

不一样。前两个属于同仪器，是无接触式的光学照射测量，而接触式轮廓仪也叫台阶仪，属于探针接触式的测量，都是用于材料表面形貌测试。

Q2、测试样品表面粗糙度可以给出哪些参数？

Ra（轮廓算术平均偏差）；Rq（均方根粗糙度）；Rz（微观不平度十点高度）；Rp（最大轮廓波峰高度）；Rv（最大谷值）。

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