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扫描电镜（SEM）测试样品制备应该注意哪些？

来源：测试GO 时间：2022-11-30 10:43:51 浏览：6648次

在扫描电镜（SEM）测试前，样品的制备是非常重要的环节。在我们制备样品时，对于不同的样品、以及形态和导电性能等差异，会用不同的方法制样。本文就带大家给大家分享一下在进行制备SEM测试的样品时应该注意的有哪些？

扫描电镜测试

1、SEM测试块状样品的制备：

样品制备对于金属、岩矿或无机物，切割成要求的尺寸，粘在样品台上。如果样品数量多，注意样品尺寸最好一致。微区成分分析样品表面应该平台或经研磨抛光，可以保证检测时几何条件不变。对于SEM样品的断口面，要选择起伏不大的部位，最好是分析点附近有小的平坦区。样品表面和底面应该平行。非导电或导电性较差的材料，要先进行镀膜处理，在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累，影响图像质量，并可防止试样的热损伤。

【注：块体、片状、薄膜尺寸小于1*1*0.5cm，需要标注测试面】

2、SEM测试粉末样品的制备：

（1）SEM微米级粉料：将粉样撒在样品台的双面胶上，用手指轻弹样品台四周，粉料悔=会均匀地向四周移动，铺平一层，侧置样品台，把多余粉料抖掉；用纸边轻刮、轻压粉料面，使粉料与胶面贴实；用耳球从不同方向吹拂粉料。经此过程，粉料已牢固、均匀地粘在双面胶上。

（2）对于亚微米级或纳米粉料进行成分分析：利用压片机压成结实的薄片。把薄片用双面胶粘在样品台上。

【注：粉末样品大于10mg，不能测试线扫】

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