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透射电镜测试样品的制备要求和方法

来源：时间：2023-02-24 15:57:19 浏览：4182次

透射电镜（Transmission Electron Microscope，TEM）是一种高分辨率的显微镜，能够对样品进行高精度的成像和分析。为了得到高质量的TEM图像，样品制备是非常重要的。

TEM透射电镜

样品选择

TEM样品应该是具有明确结构和化学成分的物质，并且应该在TEM分析下是透明的。通常使用纯净的金属或合金、无机晶体、生物分子等作为TEM样品。由于TEM需要非常薄的样品，因此对于不透明或太厚的样品，需要进行切割或磨薄，以获得透明的样品。

样品制备

制备TEM样品的过程应该严格控制，以确保样品表面光滑且无损伤。以下是几种常见的TEM样品制备方法：

（1）切割法

对于大块样品，可以使用切割机或电离子切割机将其切割成薄片。切割时应该控制切割角度和速度，以确保切割出的薄片表面光滑。切割后的薄片需要进行抛光和清洗，以去除表面污染和毛刺。

（2）磨薄法

对于小样品或脆性样品，可以使用磨薄机将其磨成薄片。磨薄时需要控制磨头和样品之间的距离和速度，以避免破坏样品。磨薄后的样品需要进行抛光和清洗。

（3）离子蚀刻法

对于某些材料，如半导体材料和金属材料，可以使用离子蚀刻法制备TEM样品。离子蚀刻可以将样品表面逐渐去除，直到获得透明的薄片。离子蚀刻过程需要控制离子束的能量和流量，以避免样品表面的损伤。

样品固定

在制备TEM样品之后，需要将其固定在网格上，以便放置到TEM中进行分析。网格应该是无污染的，通常使用碳膜或氧化亚铜薄膜制成。将样品放置在网格上时，需要控制样品和网格之间的距离和角度，以确保样品位于TEM光束路径。

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