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    表面成分分析技术特点和主要应用

    表面成分分析技术特点和主要应用

    鲁老师

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    1.材料剖析和表面分析技术概述  

    2.表面成分分析技术( SEM/EDS+AES+XPS+SIMS )的基本原理、主要技术特点和能力对比  Ø   SEM/EDS+AES+XPS+SIMS 的基本原理和主要技术能力: 与其他分析技术的对比、成分信息和检出能力、空间分辨能力、深度分辨能力等;  

    3.表面成分分析技术( SEM/EDS+AES+XPS+SIMS )的主要功能和对应数据类型  Ø   SEM/EDS 的主要功能和数据类型:SEI/BSE/EDS 能谱/ EDS MAPPING和线扫描;  Ø   AES 的主要功能和数据类型:SEI/AES能谱/ AES MAPPING和线扫描/ 深度剖析曲线;  Ø   XPS 的主要功能和数据类型:SXI/ XPS能谱/ XPS MAPPING和线扫描/ 深度剖析曲线;  Ø   TOF-SIMS和D-SIMS的主要功能和数据类型:质谱图/ 离子MAPPING和线扫描/ 深度剖析曲线/ 3D成像等;  

    4.表面成分分析技术( SEM/EDS+AES+XPS+SIMS )的主要应用案例  Ø   能源电池材料、半导体和电子器件、有机半导体(OLED & 钙钛矿)、矿物陶瓷、金属、生物医药、聚合物等材料的表面成分分析,腐蚀污染表征以及膜层结构剖析。

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