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静态二次离子质谱（TOF-SIMS）

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功能介绍

样品成像、成分定性鉴定; 三维成像、二维成像、质谱。对材料表面、界面的元素、分子结构进行分析，分析深度:表面1-3nm，检出限：ppm级别。

制样要求

1、样品要求无磁性，粉末样品至少10mg；

2、块体样品尺寸小于1cmx1cmX8mm，最小几毫米大小；

3、需要3D图请选择，默认没有;

4、深度分析具体测试费用与深度、离子有关;

5、如果测试需要和之前的同条件，送样务必提供之前测试条件；

6、正负离子分开测试，测试时间不叠加。

注：深度分析测试时间1500元/样（1小时内），超过1小时部分加收1000元/小时；测试时间不叠加。

测试案例

ACS Appl. Mater. Interfaces 2020, 12, 56151−56160：F8IC深度分析

TOF-SIMS三维成像（3D图）

TOF-SIMS二维成像（Mapping）

TOF-SIMS质谱图

常见问题

Q1、离子后面带的正或者负，为什么都是正一价或负一价呢？

这个正或者负只是代表正离子或者负离子，与价态无关。

Q2、请问测试TOF-SIMS时，正负离子都需要测，那么需要几个样品呢？是在同一个样品上选取不同的区域吗？

如果是质谱和二维成像，是一个位置，因为没有损伤，采集完正的可以继续采集负的；如果是深度分析，需要换位置，分别测试正离子和负离子。

Q3、TOF-SIMS可以测离子含量吗？ 答：不能。TOF-SIMS静态二次离子质谱，测试离子强度，定性测试，不能定量。

不能。TOF-SIMS静态二次离子质谱，测试离子强度，定性测试，不能定量。

Q4、 TOF-SIMS中，质谱测试溅射厚度？

一般2到3层原子，小于1nm。

相关资料

一文认识TOF-SIMS

一文认识TOF-SIMS

一、TOF-SIMS的原理及特点飞行时间-二次离子质谱仪（TOF-SIMS），是一种非常灵敏的表面分析技术。它利用一次离子激发样品表面微量的二次离子，根据二次离子飞行到探测器的时间不同来测定离子质量。

2019-10-25

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