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项目介绍

二次离子质谱SIMS是一种检测固体表面及近表面的成分信息的技术，几乎可以分析任何在真空中稳定的固体。它不仅可以进行全元素（从H到U）及同位素分析，同时还可以准确地识别原子团和官能团，并对固体样品进行微区分析成像和深度动态分析。

SIMS技术对材料表面、界面的元素、分子结构进行分析，分析深度可达到表面1-3nm，检出限可达ppm级别。它可以对样品进行成像和成分定性鉴定，还可以实现三维成像、二维成像、质谱分析等。

当前，SIMS已被广泛应用于各种科学领域，包括半导体、生物、医药、化学、材料以及天体物理等研究领域。

样品要求

1. 一般要求样品无磁性，弱磁性样品可以测试，无法测试强磁性样品；

2. 粉末样品至少为10mg；块体样品的尺寸小于1cm x 1cm x0. 8cm，最小几毫米；

3. 若需获取3D图，需在选项中选择，默认情况下不提供；

4. 深度分析的具体测试费用与深度、离子有关；

5. 如果测试需要与之前的条件相同，请务必提供之前的测试条件；

6. 正负离子测试是分开进行的，测试时间不叠加；

7. 务必在样品非测试面上标记“×”，仅在测试单上描述是不够的；

8. 含铁、钴、镍、锰、钌等磁性元素的样品定义为磁性样品；不能被强磁铁吸引的样品为弱磁样品，能被强磁铁吸引的样品为强磁样品；请仔细检查样品磁性，因隐瞒样品信息导致仪器损坏，需要您承担全部赔偿责任；

注：深度分析测试时间为1500元/样（1小时内），超过1小时的部分将额外收取1000元/小时的费用。不同离子、不同样品的测试时间均不叠加计算。

项目案例

ACS Appl. Mater. Interfaces 2020, 12, 56151−56160：F8IC深度分析

TOF-SIMS三维成像（3D图）

TOF-SIMS二维成像（Mapping）

TOF-SIMS质谱图

常见问题

1、离子后面带的正或者负符号，为什么都是正一价或负一价？

离子带正或负的符号只是代表正离子或者负离子，与价态无关。

2、在TOF-SIMS测试中，如果需要同时测试正负离子，那么需要分别使用不同的样品进行测试吗？可以在同一个样品上选取不同的区域进行测试吗？

如果是测试质谱和二维成像，因为没有损伤，可以选取同一个位置进行测试，且采集完正离子后可以继续采集负离子信息；如果是做深度分析，则可以在同一个样品上选取不同的区域，分别测试正离子和负离子。

3、TOF-SIMS可以测离子含量吗？

不能。TOF-SIMS静态二次离子质谱测试离子强度，为定性测试，不能定量。

4、TOF-SIMS中，质谱测试溅射厚度是多深？

一般溅射厚度为2到3层原子，小于1nm。

学术文章

25

一文认识TOF-SIMS

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