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聚焦离子束FIB测试的计量技术规范盘点
来源: 时间:2022-11-14 15:23:09 浏览:272次

聚焦离子束系统采用聚焦的离子束对样品表面进行轰击,并由计算机控制离子束的扫描或加工轨迹、步距、驻留时间和循环次数,以实现对材料的成像、刻蚀、诱导沉积和注入的分析系统。其应用已经从界面检测扩展到纳米图像制备、透射样品制备、三维成像和分析、电路编辑和修复等,在材料科学、生物、半导体集成电路、数据存储磁盘等领域有广泛的应用。


但由于聚焦离子束系统在长期使用过程中离子束流强度、能量等的变化,导致其测量出现较大误差,对于使用过程中量值准确性的保证、项目验收等都存在极大的困难。所以迫切需要建立聚焦离子束系统的量传体系,为纳米技术领域的精准测量提供技术保障。


FIB计量规范的主要技术关键:

 

1、标准器的选择:根据不同的计量特性,合理地选择校准用标准器,并直接溯源到国家基准。

 

2、长度测量误差:为了对放大范围内长度测量误差进行全面的校准,需要根据不同的放大倍率选择间距合适的标准器,确保在测量时,图像中可完整显示5个以上周期,以降低瞄准不确定性的影响。通过重心法确定评定长度,重复测量10次,以减少测量不确定度。

 

3、长度测量重复性:根据长度测量误差校准项目的测量条件,重复测量10次,取实验标准差作为长度测量重复性的校准结果。

 

4、线性失真度:标准器选择二维标准栅格。在一定放大倍数下,测量二维栅格样板,选取一个栅格,分别平移到图像的中心和四角,各获取一幅图像,分别计算XY方向的线性失真度。

 

5、正交误差:标准器选择二维标准栅格。为减小正交误差,必须选取正交方向5个间隔以上的周期进行测量,并且重复测量3次,取均值作为示值。


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全部 3小时前 四川
文字是人类用符号记录表达信息以传之久远的方式和工具。现代文字大多是记录语言的工具。人类往往先有口头的语言后产生书面文字,很多小语种,有语言但没有文字。文字的不同体现了国家和民族的书面表达的方式和思维不同。文字使人类进入有历史记录的文明社会。
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