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扫描电子显微镜样品处理有什么要求?

来源：时间：2022-11-23 17:10:09 浏览：1553次

扫描电子显微镜的优势为可以直接观察非常粗糙的样品表面，参差起伏的材料原始断口。但其劣势为样品必须在真空环境下观察，因此对样品有些特殊要求，笼统的讲:干燥，无油，导电。本篇文章整合了海量资料为大家分析扫描电子显微镜的样品要求。

强磁材料高倍20w倍形貌

1、形貌形态，必须耐高真空

例如有些含水量很大的细胞，在真空中很快被抽干水分，细胞的形态也发生了改变，无法对各类型细胞进行区分;

2、样品表面不能含有有机油脂类污染物。油污在电子束作用下极端容易分解成碳氢化物、对真空环境造成极大污染。样品表面细节被碳氢化合物遮盖;碳氢化合物降低了成像信号产量:硬氢化合物吸附在电子束光路引起极大象散或吸附在探测器晶体表面，降低探测器效率。对低加速电压的电子束干扰严重。

3、SEM样品必须干燥。水蒸气会加速电子枪阴极材料的挥发，从而极大降低灯丝寿命另外水蒸气会散射电子束，增加电子束能量大分散，从而增大色差，降低分辨能力。

4、样品表面必需导电。在大多数情况下，初级电子束电荷数量都大于背散射电子和二次电子数量之和，因此多余的电子必须导入地下，即样品表面电位必须保持在0电位。如果样品表面不与电，或者样品接地线断裂，那么样品表面静电荷存在，使得表面负电势不断增加，出现充电效应，使图像畸变，入射电子束减速，此时样品如同一个电子平面镜。

5、在某些情况下，样品制备变成重要的考虑因素。若要检测观察弱反差机理，就必须消除强反差机理(例如形貌反差)，否则很难检测到弱的反差。当希望EBSD背散射电子衍射反差，I和II型磁反差或其他弱反差机理时，磁性材料的磁畴特性必需消除样品的形貌。采用化学抛光、电解抛光等，产生一个几乎消除形貌的镜面。特殊情况:磁性材料，必须退磁。

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