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    四探针测试仪取样与数据处理方法探讨

    四探针测试仪取样与数据处理方法探讨 四探针测试仪是一种多用途的综合测量设备,主要用于 测试半导体材料的电阻率及方块电阻(薄层电阻) 。 一、取样方法 1. 探针头的更换与调整 在取样前,需要根据被测试样品的特性选择合适的探针头;轻轻拧开探针头子,然后小心将铜片拉出,记住七片绝缘片与铜片之间的位置,...

    2024-01-31

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    四探针测试仪测量半导体材料电阻率

    1. 基本介绍 电阻率的测量是半导体材料常规参数测量项目之一。测量电阻率的方法很多,如三探针法、电容---电压法、扩展电阻法等。四探针法则是一种广泛采用的标准方法,在半导体工艺中最为常用。其主要优点在于设备简单,操作方便,精确度高,对样品的几何尺寸无严格要求。四探针法除了用来测量半导体材料的电阻率...

    2022-10-26

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