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X射线光电子能谱法XPS测试的特点及制样要求

来源：时间：2022-08-24 16:42:34 浏览：6337次

X射线光电子能谱（XPS）是电子材料与元器件显微分析下的一种表面分析方法，该方法常常和俄歇电子能谱技术（AES）配合使用，XPS的原理是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来，通过测量被光子激发出来的电子能量，以光电子的动能/束缚能（binding energy，Eb=hv光能量-Ek动能-w功函数）为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标而做出光电子能谱图，最终获得试样有关信息。

XPS数据分析

一、X射线光电子能谱法的特点

1、可以分析除 H 和 He 以外的所有元素；可以直接测定来自样品单个能级光电发射电子的能量分布，且直接得到电子能级结构的信息。

2、从能量范围看，如果把红外光谱提供的信息称之为“分子指纹”，那么电子能谱提供的信息可称作“原子指纹”。它提供有关化学键方面的信息，即直接测量价层电子及内层电子轨道能级。而相邻元素的同种能级的谱线相隔较远，相互干扰少，元素定性的标识性强。

3、是一种无损分析。

4、是一种高灵敏超微量表面分析技术。分析所需试样极少量即可，样品分析深度0.5-10nm 。

二、X 射线光电子能谱法的应用:

1、元素定性分析

2、元素定量分折

3、固体表面分析

4、化合物结构签定

二、X射线光电子能谱法的制样要求

1.预处理尺寸要求：块状/片状/薄膜：长宽厚不超出1 cm × 1 cm × 3 mm（磁性样品尽量小）（对块状样品或薄膜样品的测试面做好标记）；粉末样品大于200目，不少于10mg，量少请用称量纸包好再装到管子里寄送。请勿用手触摸样品表面，会引入污染。制好样后请尽快密封，避免其他物质污染；

2.送样前样品需充分干燥，否则影响仪器真空度。高分子样品在送样前应进行干燥处理。若含有高挥发性分子等请务必烘烤。

3.样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知，避免污染高真空系统；

4.样品在超高真空及在X射线、紫外线、电子束或Ar离子束照射下应稳定，不分解、不释放气体。

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