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相比XRD衍射，微区XRD测试有哪些优势？

来源：时间：2022-11-17 15:51:52 浏览：2806次

XRD全称X射线衍射(X-RayDiffraction),利用X射线在晶体中的衍射现象来获得衍射后X射线信号特征，经过处理得到衍射图谱。利用谱图信息不仅可以实现常规显微镜的确定物相，并拥有“透视眼”来看晶体内部是否存在缺陷（位错）和晶格缺陷等。微区衍射（也称为射线微区衍射、微区X射线衍射或 uXRD)分析使用非常窄的光束来进行极小区域内的高度局部化XRD测量。这可以使用能减少射出×射线的专用入射光束准直器来实现。使用单毛细管可以产生直径约为50 um 的入射X射线束。微区衍射技术通常用于具有不同组成、晶格应变或优选取向微晶的小样品或非均质样品。

微区XRD可以测试指定某个区域的XRD谱图，但是测试区域需要大于等于0.5 mm，不能太小。另外测试角度范围默认是5-90 °,其他角度需要先和老师沟通后再做决定。比如需要测试块体样品（尺寸要求是长宽一般1-2 cm，厚度不超过5 mm)上面某一个或一些小区域的XRD，就可以用微区XRD来测试。

微区XRD原理跟一般XRD一样，只是beam很小是微米级，因此可以准确研究不同区域内的晶相结构。微区XRD的x射线束斑更小些(这个通过调节狭缝可以实现)。而一般的XRD的束斑面积在几十个微米见方。微区衍射可以应用于许多衍射研究，包括以下表征:样品上具有巨大梯度成份的小斑点，例如，污染物、夹杂物、矿物样品、法医样品、古代绘画的微小横截面、考古样本、冶金工件、工具嵌件和图案化晶片。

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