网站地图关于合作招聘帮助会员中心

热线：400-152-6858

测试狗科研服务

预存定制

登录

|

注册

Document

当前位置：文库百科 › 文章详情

动态二次离子质谱仪可解决哪些问题？

来源：测试GO 时间：2022-08-25 14:50:21 浏览：1415次

动态-二次离子质谱(D-SIMS)用气体等离子源轰击样品,使样品表面原子、分子或离子等溅射出来,用质量分析器接收溅射出的二次离子,通过分析其质荷比(m/z)得到的二次离子质谱。因为D-SIMS的离子源是高密度离子束(原子剂量>1012 ions/cm2),对样品的溅射影响很大,所以这是一种破坏性分析。此外，D-SIMS一般要求样品导电性要好，主要用于无机样品沿纵向方向的浓度剖析和进行痕量杂质鉴定如地质研究、同位素定量分析、半导体掺杂的深度分析等。

D-SIMS测试可解决哪些问题有：

（1）定性检测产品表面微小异物(≥10μm),尤其是在常规成分检测方法无效时。

（2）检测多层膜或单层膜的厚度和成分（厚度≥1nm）。

（3）分析表面超痕量物质成分，确定外来污染与否，检出限高达ppb级别。

（4）测试在掺杂工艺中由表到里,超低含量的物质情况。

（5）元素含量的面分布图、同位素丰度分析，逐层剥离、实现各成分的纵向剖析（AES、XPS只能分析纵向新生成的表面）

D-SIMS测试的样品要求：

以固态薄层、表面平整材料为主，比如衬底或者薄膜。粉末、已封装或者有结构之类的特殊样品需要进行适当制备。

1、尺寸要求：5-10mm之间，厚度不超过1mm，真空保存，标记清楚测试面。

2、分析面积100,200,300um见方居多，面积越大溅射速率越慢。

3、测试厚度一般在5um之内，但不超过10um。

4、部分样品可以定量分析（比如，常见的硅中各种掺杂 B, P,As等；各类化合物半导体及其多层结构等），取决于是否有合适的标准样品。

上一篇：电子顺磁共振波谱仪和液体核磁共振分别能测什么？

下一篇：静态二次离子质谱仪的主要用途和常见问题

相关文章

TMA技术的基本概念、应用领域以及实际操作中的要点

2023-12-06

恒电流间歇滴定法GITT的基本原理以及测试教程

2022-08-12

接触角测试（CA）的原理、样品制备要求及实际应用

2023-11-16

一文详解扫描电子显微镜(SEM)的工作原理及应用技术

2023-10-08

折射率测试的主要方法和制样要求介绍

2022-11-10

Plos One：水刊？神刊？很多人嘴上说不要，私下却偷偷投稿！

2022-08-09

热门文章/popular

【科研干货】电化学表征：循环伏安法详解（上）

晶体结构可视化软件 VESTA使用教程（下篇）

电化学实验基础之电化学工作站篇（二）三电极和两电极体系的搭建和测试

手把手教你用ChemDraw 画化学结构式：基础篇

【科研干货】电化学表征：循环伏安法详解（下）

基础理论丨一文了解XPS（概念、定性定量分析、分析方法、谱线结构）

微信扫码分享文章

意见反馈

有奖举报

商务合作

公众号

关注我们了解更多

小程序

随时预约掌握进度

举报有奖

TEL: 191-3608-6524

如：在网络上恶意使用“测试狗”等相关关键词误导用户点击、恶意盗用测试狗商标、冒称官方工作人员等情形，请您向我们举报，经查实后，我们将给予您奖励。

举报内容：

200

上传附件：

文件格式不正确，请重新上传文件格式不正确，请重新上传文件格式不正确，请重新上传

文件格式：jpg、jpeg、png、gif、tif、doc、docx、ppt、pptx、xls、xlsx、pdf、zip、rar

联系方式

姓名

电话

提交意见

意见反馈

Suggestions

您可以在此留下您宝贵的意见，您的意见或问题反馈将会成为我们不断改进的动力。

意见类型

测试服务

网站功能

财务报账

其他类型

意见内容

200

联系方式

姓名

电话

提交意见

收起

Document