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静态二次离子质谱仪的主要用途和常见问题

来源：测试GO 时间：2022-08-25 15:10:22 浏览：1494次

静态二次离子质谱仪(TOF-SIMS)。在此类质谱仪中，二次离子被提取到无场漂移管，二次离子沿既定飞行路径到达离子检测器。由于给定离子的速度与其质量成反比，因此它的飞行时间会相应不同，较重的离子到达检测器的时间会比较轻的离子更晚。此类质谱仪可同时检测所有给定极性的二次离子，并具有极佳质量分辨率。

静态二次离子质谱仪示图片

TOF-SIMS测试用途：

1.可对H-U元素进行定性分析（定量需标样），检测极限可达ppm或更低的浓度。

2.良好的深度分辨率（0.1-1nm），但溅射速率很慢（＜1μm/H）。

3.极小小面积分析，最小区域可达直径80nm。

4.可分析有机物，能直接输出有机物分子式；

5.可对元素进行面分布分析。

TOF-SIMS测试问答：

Q1、离子后面带的正或者负，为什么都是正一价或负一价呢？

这个正或者负只是代表正离子或者负离子，与价态无关。

Q2、请问测试TOF-SIMS时，正负离子都需要测，那么需要几个样品呢？是在同一个样品上选取不同的区域吗？

如果是质谱和二维成像，是一个位置，因为没有损伤，采集完正的可以继续采集负的；如果是深度分析，需要换位置，分别测试正离子和负离子。

Q3、TOF-SIMS可以测离子含量吗？答：不能。TOF-SIMS静态二次离子质谱，测试离子强度，定性测试，不能定量。

不能。TOF-SIMS静态二次离子质谱，测试离子强度，定性测试，不能定量。

Q4、 TOF-SIMS中，质谱测试溅射厚度？

一般2到3层原子，小于1nm。

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